 | 2. Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : сборник научных трудов XXI Международной научно-технической конференции, XXVIII Международного симпозиума Тонкие пленки в электронике, VIII Международной научно-технической конференции Наноинженерия / Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана, Центр. науч.-исслед. ин-т "Техномаш", Технопарк "Гос. завод "Пульсар" ; Панфилов Ю.В. (отв. за вып.). — М. : МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2016. — 399 с. : ил., табл. — Библиогр. в конце докл. — ISBN 978-5-7038-4552-3. |